영흥인스트루먼트(주)SINCE 1971

64-5000 초고순도, 절대/대기압 이하 감압 조절기

Ultra High Purity, Absolute/Subatmospheric Pressure Reducing Regulator 

10 Ra 표면 마무리.

주입구 압력은 120, 600 또는 3500psig/8.3, 41.4 또는 241bar이며,

배출구 압력 범위는 50mmHg 절대 - 15~100psig/50mmHg 절대 - 1.0~6.9bar입니다.

진공 압력 제어, 독성 가스 분석, 밸브 매니폴드 박스, 가스 캐비닛 및 반도체 제조에 사용하기에 이상적입니다.

사양

압력 레이팅

최대 주입구 압력: 120, 600 또는 3500psig/8.3, 41.4 또는 241bar

배출구 압력 범위: 50mm Hg 절대 -

15, 30, 60, 100psig/1.0, 2.1, 4.1, 6.9bar

재질

본체: 316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마

밸브 시트: Teflon®, PCTFE

다이어프램: 316L 스테인리스 강

밸브 스템, 스프링 및 밸브 가이드: 316 스테인리스 강

운영 온도

Teflon® 시트: -40°F~160°F/-40°C~71°C

PCTFE 시트: -40°F~140°F/-40°C~60°C

포트 크기 및 유형

1/4 H.P.I.C.

1/4, 1/2 수형 스위블

1/4, 1/2 암형 스위블

IN 포트: 1/4 수형, OUT 포트: 1/4 암형

IN 포트: 1/4 암형, OUT 포트: 1/4 수형

1/4 튜브 스터브

유량 용량

Cv = 0.24(120psig/8.3bar 모델)

Cv = 0.15(600psig/41.4bar 모델)

Cv = 0.06(3500psig/241bar 모델)

무게

2lbs/0.9kg

특징

진공 및 낮은 양압을 제어하기 위한 음의 바이어스

10Ra 마이크로인치/0.25마이크로미터 내부 표면 마감

높은 누설 무결성을 위한 금속-금속 다이어프램 및 본체 씰

Hastelloy® 트림 옵션을 제공합니다.

응용 분야

진공 압력 제어

독성 가스 분석

밸브 매니폴드 박스

가스 캐비닛

반도체 제조