영흥인스트루먼트(주)SINCE 1971

64-3400 2단, 초고순도 감압 레귤레이터

Dual-Stage, Ultra High Purity Regulator

결합된 다이어프램 구조와 10 Ra 마이크로인치/0.25마이크로미터 표면 마무리를 제공하며, Hastelloy® 트림도 선택 사항으로 이용할 수 있습니다. 주입구 압력은 3500psig/241bar이며, 배출구 압력은 최대 150psig/10.3bar입니다.

가스 캐비닛, 반도체 제조, 연구실에서 사용하기에 이상적입니다.

사양

압력 레이팅

최대 주입구 압력: 3500psig/241bar

배출구 압력 범위: 30, 60, 100, 150psig/2.1, 4.1, 6.9, 10.3bar

재질

본체: 316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마

다이어프램: 316L 스테인리스 강

밸브 시트: PCTFE 또는 Teflon® PFA

밸브 스프링: 316 스테인리스 강

밸브 스템 및 나머지 부품: 316 스테인리스 강(Hastelloy® 선택 사항)

운영 온도

Teflon® PFA 시트: -40°F~160°F/-40°C~71°C

PCTFE 시트: -40°F~140°F/-40°C~60°C

포트 크기 및 유형

1/4 H.P.I.C.

1/4, 1/2

수형 스위블, 고정 수형, 암형 스위블

1/4 튜브 스터브

유량 용량

카탈로그 내용 참조

무게

3.0lbs/1.4kg

특징

10 Ra 마이크로인치/0.25마이크로미터 내부 표면

완전한 내부 전해 연마 제공

높은 누출 무결성을 위한 금속-금속 본체-다이어프램 씰

자유형 포핏 또는 결합 다이어프램 중에서 선택

응용 분야

가스 캐비닛

반도체 제조

연구실