영흥인스트루먼트(주)SINCE 1971

64-3200 시리즈 초고순도 고유량 고정 다이어프램 감압 레귤레이터

10 Ra 마이크로인치/0.25 마이크로미터 표면 마감 처리되었으며, Hastelloy® 트림으로 제공됩니다.

150, 1000, 1500psig/10.3, 69.0, 103bar의 인입구 압력 및 최대 200psig/13.8bar의 배출구 압력으로 최대 유동 속도는 31.8 SCFM/900 SLPM입니다.

벌크 특수 가스 시스템(BSGS), 1/2" POU(사용점), 도구 연결 및 가스 캐비닛에서 사용하기에 이상적입니다.

사양

압력 등급

최대 인입구 압력: 150, 1000, 1500 psig / 10.3, 69.0, 103 bar

배출구 압력 범위: 30, 60, 100, 150, 200 psig / 2.1, 4.1, 6.9, 10.3, 13.8 bar

재질

바디: 316L 스테인리스 강 전해 연마 또는 316L VAR 스테인리스 강 전해 연마

다이어프램: Hastelloy®

시트 리테이너: 316 스테인리스 강

포핏: 316 스테인리스 강 또는 Hastelloy®

밸브 시트: Teflon®, Vespel®, PCTFE

나머지 부품: 316 스테인리스 강

작동 온도

Teflon® 시트: -40 ~ 160°F/-40 ~ 71°C

Vespel® 시트: -40 ~ 350°F/-40 ~ 177°C

PCTFE 시트: -40 ~ 140°F/-40 ~ 60°C

포트 크기 및 유형

1, 3/8, 3/4, 1/2 튜브 말단

1/4, 1/2, 3/4

수형 고정, 수형 스위블(정상 및 고유량), 암형 스위블(정상 및 고유량)

유량

Cv = 1.2

무게(게이지 미포함)

3.5lbs/1.6kg

특징

고유량 벌크 특수 가스용으로 설계

Hastelloy®  트림 옵션을 제공합니다.

확실한 차단 씰, 고정 다이어프램 설계

높은 누설 무결성을 위한 금속-금속 다이어프램 및 본체 씰

포집 보닛

응용 분야

대량 특수 가스 시스템(BSGS)

1/2" 사용 지점

도구 연결

가스 캐비닛